✦ 產品資訊
半導體生產設備耗材‧ 面板工業設備耗材‧光電工業原料應用及設備耗材‧太陽能產業設備耗材
台灣精材的精密陶瓷主要用於半導體前段製程(Front-End), 蝕刻(Etch),薄膜(Thin-film),氧化鋁陶瓷在半導體製程中有電氣絕緣、低膨脹、耐高溫、抗強酸鹼腐蝕、耐磨耗、耐電漿等特性
✦ 產品應用
Semiconductor chamber components
TFT.LCD chamber component
High Plasma/chemical resistance require
Precision/structure ceramic component