Aluminum Nitride 氮化鋁

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✦ 產品資訊
半導體生產設備耗材‧ 面板工業設備耗材‧光電工業原料應用及設備耗材‧太陽能產業設備耗材
具有高導熱、高絕緣、與半導體晶圓材料矽有相近熱膨脹係數
用於半導體腔內部件及散熱基板

✦ 產品應用
Semiconductor Etch process
Ring Shape
Cathode